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半导体电子设备

LCS系列立式旋转冲洗甩干机

发布时间:2020-10-05 作者:鲁超超声 点击:111次

LCS系列立式旋转冲洗甩干机(图1)

 

 

概述:

本机是主要应用于太阳能电池和半导体硅片等的冲洗甩干工艺环节,具有容量大、效率高的特点。

主要特点:

彩色液晶触摸屏实时监控,可存储多种工艺菜单。

腔体和转架采用316不锈钢,电化学抛光处理。

去离子水电阻率监控功能。

无刷电机驱动

氮气温度控制

转轴氮气密封

具有锁盖防护功能

故障诊断、显示、报警功能

可提用户特殊要求配置

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