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外延片(硅片)腐蚀清洗机

发布时间:2020-10-05 作者:鲁超超声 点击:111次

外延片(硅片)腐蚀清洗机(图1)

 

概述:

本机控制模式:手动控制模式、自动控制模式。

主要特点:

清洗规格:

2inch,4cassette/Batch,25Pcs/cassette;4inch,2cassette/Batch,25 PCs/cassette.

手动方式实现放件,取件,槽体间传送件;腐蚀工艺自动补药液,保证了工艺槽在运行过程中浓度的稳定性。

(温度,时间,DIW水清洗模式、时间可调)手动由触摸屏界面可设定。

药液供给及补液方式:分体式CDS自动供夜系统;DI槽配有在线式水质检测装置;配有分体式废液回收系统。


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